Титановые полупроводниковые компоненты
Лоток для переноски из полупроводникового-титанового сплава, выпущенный компанией China Super Tech Co., Ltd., представляет собой основной компонент почти -сетчатой-формы, специально разработанный для высокотехнологичного-оборудования для литографии. Его вес составляет примерно 80 килограммов. Он изготовлен из подложки из титанового сплава посредством-процесса формования одной детали и может стабильно размещать пластинные модули в условиях производства полупроводников с высокой-чистотой и высокой-вибрацией. Это значительно снижает отходы материала и отклонения в точности, вызванные традиционными методами обработки.
- Внедрение продукции
Особенности продукта
1. Низкие потери материала.
Благодаря использованию процесса дугового плазменного осаждения и использования титановой проволоки в качестве сырья для послойного --послойного сплавления и формования коэффициент использования материала на 70 % выше, чем при традиционном фрезеровании, что снижает ненужный расход драгоценных титановых материалов.
2. Высокая жесткость конструкции.
После формования внутренняя структура плотная и однородная, без типичных для традиционного литья дефектов пористости. Вероятность его деформации в условиях высокой-скорости движения оборудования меньше, а отклонение точности составляет менее 0,02 мм при длительном-использовании.
3. Низкое остаточное напряжение.
После формования компоненты проходят эксклюзивную обработку старения с-контролируемой температурой. Остаточное напряжение внутри компонентов намного ниже уровня отраслевого стандарта. Во время последующей точной обработки не произойдет неожиданная деформация.
4. Высокая чистота и совместимость.
Поверхность титанового сплава может быть обработана пассивацией, которая не склонна к выделению металлических частиц и полностью отвечает высоким требованиям чистоты производства полупроводникового цеха.
Применение продукта
1. Вафельный носитель для литографического оборудования.
Являясь лотком для держателя пластин в системе литографии, он надежно удерживает модуль пластины во время-скоростного движения и процесса точного выравнивания, предотвращая смещение пластины во время процесса экспонирования и обеспечивая точность линии травления каждой пластины.
2. Вакуумный носитель покрытия.
Размещенный внутри машины для вакуумного нанесения покрытия на полупроводники, он группирует места для нанесения покрытия на чипы. Титановый материал имеет чрезвычайно низкую скорость газовыделения в вакуумной среде, что не нарушает состояние высокого вакуума внутри камеры нанесения покрытия, обеспечивая однородность и плотность слоя покрытия.
3. Основание приспособления для тестирования чипов
Являясь базовым компонентом оборудования для сортировки и тестирования стружки, высокая стабильность, обеспечиваемая собственным весом, может нейтрализовать небольшую вибрацию, вызванную высокой-скоростной сортировкой оборудования, что делает выравнивание щупа и контактов чипа более точным и снижает частоту ошибок при тестировании.
Индивидуальный сервис
China Super Tech Co., Ltd. может предоставить полный-индивидуальный процесс обслуживания, от согласования спроса до доставки продукции. Опираясь на проверенную технологию осаждения титановых сплавов, она может быстро производить заготовки почти-конечной-формы без необходимости повторного изготовления пресс-форм. Впоследствии для достижения требуемой точности размеров в соответствии со спецификациями клиента требуется лишь небольшая прецизионная обработка.
Мы можем скорректировать форму и структуру внутреннего армирования компонентов в соответствии с фактическим пространством для установки и требованиями к нагрузке-оборудования клиента, а также можем предложить решения по обработке поверхности, подходящие для различных уровней чистоты в соответствии с потребностями клиента. Мы будем следить за ходом обработки на протяжении всего процесса, чтобы гарантировать, что настроенные компоненты могут напрямую вписаться в существующую систему цепочки поставок полупроводникового оборудования клиента без необходимости дополнительной модификации интерфейса оборудования.
Спецификация
|
Параметр |
Спецификация |
|
Название продукта |
Титановые полупроводниковые компоненты |
|
Материал |
Чистый титан (класс 1, класс 2), титановый сплав (класс 5 / Ti-6Al-4V) |
|
Стандартный |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (доступно по индивидуальному заказу) |
|
Производственный процесс |
Обработка с ЧПУ, прецизионная токарная обработка, фрезерование, шлифование |
|
Доступные формы |
Кольца, камеры, мишени, фланцы, пластины, приспособления, нестандартные детали |
|
Диаметр |
5 мм – 1000 мм |
|
Длина |
До 3000 мм |
|
Толщина |
0,5 мм – 200 мм |
|
Толерантность |
От ±0,005 мм до ±0,02 мм (в зависимости от конструкции) |
|
Поверхностная обработка |
Механическая обработка, полировка, зеркальная отделка, пескоструйная обработка, травление |
|
Шероховатость поверхности |
Ra 0,2–1,6 мкм |
|
Чистота |
До 99,9% (технически чистый титан) |
|
Плотность |
4,51 г/см³ |
|
Рабочая температура |
До 600 градусов |
|
Коррозионная стойкость |
Превосходная стойкость к кислотам, щелочам и сверх-чистым химикатам. |
|
Сертификация |
ISO 9001, Сертификат испытаний материала (доступен EN 10204 3.1) |
|
ОЭМ/ОДМ |
Доступный |
Часто задаваемые вопросы
Почему в полупроводниковом оборудовании широко используется титан вместо нержавеющей стали или алюминия?
+
-
Титан предлагает превосходное сочетание коррозионной стойкости, низкого выделения газов, высокого соотношения-к-весу и совместимости с средами сверх-высокого вакуума (СВВ). Эти свойства делают его идеальным для оборудования по производству полупроводников, подвергающегося воздействию агрессивных химикатов, плазменной обработке и условиям производства с высокой-чистотой. По сравнению с нержавеющей сталью или алюминием, титан с меньшей вероятностью загрязняет пластины ионами или частицами металлов, что помогает повысить производительность и стабильность процесса. Он обычно используется для вакуумных камер, технологического оборудования, компонентов газораспределения, деталей для обработки пластин и плазменного оборудования.
Как свести к минимуму загрязнение частицами во время производства?
+
-
Загрязнение частицами является одной из самых больших проблем для производителей полупроводников, поскольку даже микроскопические частицы могут снизить выход пластин. Чтобы свести к минимуму загрязнение, титановые полупроводниковые компоненты должны подвергаться точной обработке на станке с ЧПУ с последующей соответствующей обработкой поверхности, такой как полировка, пассивация или электрополировка, когда это необходимо. Компоненты обычно очищаются с использованием процессов очистки полупроводникового-класса и упаковываются в чистых условиях, чтобы предотвратить загрязнение во время транспортировки. Клиенты также могут запросить определенную шероховатость поверхности (Ra), уровень чистоты и индивидуальную упаковку в соответствии с требованиями к их оборудованию.
Можете ли вы изготовить титановые полупроводниковые компоненты на заказ по чертежам?
+
-
Да. Большинство полупроводниковых титановых компонентов изготавливаются по индивидуальному заказу,-поскольку у каждого производителя оборудования свои проектные характеристики. Клиенты обычно предоставляют: 2D-чертежи или файлы 3D CAD (STEP, IGES, PDF). Требования к марке материала. Спецификации качества поверхности. Критические допуски. Требования к чистоте. Требования к проверке. На основе этих спецификаций перед отправкой могут быть предоставлены прецизионная обработка с ЧПУ, проверка размеров, отслеживание материала и индивидуальная упаковка.
Какие документы качества могут быть обеспечены титановыми полупроводниковыми компонентами?
+
-
Производителям полупроводникового оборудования часто требуется полная документация по качеству, чтобы гарантировать единообразие и отслеживаемость продукции. Типичные документы включают: Сертификат испытаний материала (EN 10204 3.1) Отчет о химическом составе Отчет о механических свойствах Отчет о проверке размеров Отчет о проверке CMM Отчет о шероховатости поверхности Отчет о первой проверке изделия (FAI) Сертификат соответствия (COC) Дополнительные отчеты о проверке также могут быть предоставлены в соответствии со спецификациями заказчика.
Как титановые компоненты могут сохранять длительный срок службы в суровых условиях обработки полупроводников?
+
-
Обработка полупроводников часто включает в себя высокий вакуум, воздействие плазмы, агрессивные технологические газы и сверхчистые химикаты. Неправильный выбор материала или неадекватная обработка поверхности могут привести к коррозии, загрязнению, чрезмерному выделению газов или сокращению срока службы оборудования. Высококачественные-компоненты из титана производятся с использованием соответствующих марок титана, прецизионной механической обработки, контролируемой обработки поверхности и строгого контроля качества. Правильный выбор материалов в сочетании с чистыми производственными процессами помогает улучшить коррозионную стойкость, уменьшить выделение газов, свести к минимуму образование частиц и продлить срок службы компонентов в сложных условиях эксплуатации полупроводников.
горячая этикетка : титановые полупроводниковые компоненты, Китай титановые полупроводниковые компоненты производители, поставщики, завод
