Титановые детали для полупроводников
Титановые детали для полупроводников производства China Super Tech Co., Ltd. изготавливаются путем трехкратной плавки титановых слитков высокой-чистоты TA1 в условиях вакуумно-дуговой плавки. Содержание примесей составляет менее 0,03%. Они подходят для работы в условиях высоких-температур и сильной-коррозии полупроводникового оборудования, могут снизить загрязнение металлами во время обработки пластин и помочь клиентам продлить цикл обслуживания оборудования более чем на 30 %.
- Внедрение продукции
Особенности продукта
1. Ультра-контроль выбросов примесей со сверхнизким уровнем примесей.
На протяжении всего производственного процесса мы применяем схему обработки керамических инструментов + инструментов, не содержащих железа-. Все вспомогательные материалы, контактирующие с заготовкой, проходят трехкратную кислотную промывку со строгим контролем общего содержания железа, хрома и т. д. в пределах 0,02%. Это полностью позволяет избежать распространенной проблемы загрязнения ионами металлов в полупроводниковых процессах и предотвращает образование чрезмерных остатков металла на поверхности пластины. Это снижает риск замыкания цепи со стороны материала.
2. Долгосрочная-стойкость к коррозии.
После того, как деталь сформирована, она подвергается погружению в слабый окислительный раствор двух разных концентраций для пассивации. На поверхности образуется равномерная защитная пленка диоксида титана толщиной 8-10 нм. Даже при непрерывном воздействии разбавленных растворов плавиковой и азотной кислот в процессе очистки полупроводников в течение 2000 часов не будет отслоений питтингов и мусора, царапающего поверхность пластины.
3. Высокая-прецизионная стабильность размеров.
Во время обработки весь процесс использует распыление жидкого азота для постоянного контроля температуры, контролируя деформацию, возникающую во время обработки, в пределах 0,003 мм. Прежде чем покинуть завод, готовая продукция подвергается 24-часовым циклическим испытаниям при высоких и низких температурах. Даже при длительной работе в полупроводниковой технологической среде при температуре 180 градусов не будет никаких деформационных заеданий и деформационных прилипаний. Нет необходимости часто разбирать и регулировать точность центровки.
4. Низкая скорость выхлопа, подходящая для вакуумной среды.
Все детали сначала подвергаются вакуумной сушке при температуре 120 градусов в течение 48 часов для дегазации. Водяной пар и мельчайшие частицы, адсорбированные на поверхности, полностью удаляются. После установки в полупроводниковую вакуумную камеру он может помочь оборудованию достичь заданной степени вакуума на 25% быстрее, чем при использовании обычных деталей из нержавеющей стали, сокращая потери времени на ожидание вакуумной откачки.
Применение продукта
1. Вафельный лоток для машины PVD-осаждения из паровой фазы.
Используется для поддержки кремниевой пластины, на которую будет нанесено покрытие. В условиях высокой-температуры распыления целевого материала титановая деталь не вступает в реакцию с распыляющим газом и не выделяет лишние примеси в камеру, что может улучшить однородность слоя металлической пленки, нанесенной на поверхность пластины, на 5 %, избегая проблемы утечки стружки, вызванной недостаточной толщиной металлического слоя. Он подходит для производства покрытий по технологии 28 нм и ниже.
2. Подставка для вафель для машины для влажной уборки.
В стандартном процессе очистки RCA стойка полностью погружается в чистящие растворы сильной кислоты и щелочи. Титановый материал не подвергается коррозии и не образует мусора, а также не прилипает к поверхности пластины, вызывая загрязнение частицами. Это может снизить процент дефектов частиц при очистке пластин за одну партию на 12%. В то же время легкий вес стойки также может снизить нагрузку на трансмиссию уборочной машины и снизить энергопотребление оборудования.
3. Сиденье для фиксации электродов для аппарата ионной имплантации.
Используется для фиксации высоковольтных-электродов в машине. Не-магнитные свойства титана не будут мешать траектории ионного луча, позволяя контролировать отклонение глубины имплантации ионов в очень небольшом диапазоне, избегая проблемы неравномерной инъекции дозы в локальной области пластины. Это значительно улучшает стабильность электрических характеристик чипа.
4. Фланец соединительный для полупроводникового вакуумного трубопровода.
Соединение разных участков вакуумного трубопровода машины. Низкая скорость выхлопа титана позволяет поддерживать высокий-чистый вакуум внутри трубопровода и не вызывает колебаний степени вакуума из-за газовыделения обычных фланцев из нержавеющей стали после длительного-использования. Это уменьшает количество сигналов тревоги об остановке оборудования, вызванных аномалиями вакуума, и увеличивает время непрерывной работы производственной линии на 30%.
Индивидуальный сервис
1. Настройка не-стандартных размеров
Опираясь на наш собственный 5-осевой обрабатывающий центр, длину, ширину и высоту деталей можно регулировать в соответствии с пространством установки существующего полупроводникового оборудования клиента. Клиенту не нужно модифицировать интерфейс оборудования, а первый образец может быть доставлен в течение 7 дней.
2. Настройка состояния поверхности
По желанию можно выбрать два метода обработки поверхности: зеркальную полировку и матовую пескоструйную обработку. Они подходят для различных требований к чистоте производственного процесса и позволяют избежать прилипания частиц, которое влияет на среду производства полупроводников.
3. Настройка специальных интерфейсов
Специальные конструкции, такие как специальные слоты для карт и установочные отверстия, можно настроить так, чтобы они полностью соответствовали требованиям сборки оборудования,-собственно разработанного заказчиком. Никаких дополнительных компонентов адаптера добавлять не нужно.
Спецификация
|
Элемент |
Спецификация |
|
Название продукта |
Титановые детали для полупроводников |
|
Материал |
Чистый титан (класс 2), титановый сплав (класс 5 Ti-6Al-4V) |
|
Производственный процесс |
Обработка с ЧПУ, токарная обработка, фрезерование, шлифование, сварка |
|
Доступные формы |
Пластина, кольцо, трубка, стержень, блок, нестандартные детали |
|
Размеры |
Подгонянный согласно чертежам или образцам |
|
Толерантность |
До ±0,01 мм |
|
Поверхностная обработка |
Полированный, пескоструйный, травленый, анодированный, прецизионная обработка |
|
Шероховатость поверхности |
Ra 0,2–1,6 мкм (доступен по индивидуальному заказу) |
|
Чистота |
До 99,6% (титан Grade 2) |
|
Рабочая температура |
До 400 градусов |
|
Плотность |
4,51 г/см³ |
|
Твердость |
2 степень: НВ 145–200; 5 класс: 30–36 HRC. |
|
Коррозионная стойкость |
Отличная стойкость к кислотам, щелочам и технологическим химикатам. |
|
Химическая совместимость |
Подходит для полупроводниковых химикатов и сред сверх-высокой чистоты. |
|
Инспекция |
Проверка размеров, сертификация материалов, проверка поверхности |
Часто задаваемые вопросы
Почему в полупроводниковом оборудовании используется титан вместо нержавеющей стали или алюминия?
+
-
Титан предлагает превосходное сочетание коррозионной стойкости, низкого образования частиц, высокого соотношения-к-весу и совместимости с средами с высоким-вакуумом. Он особенно хорошо работает в оборудовании, подвергающемся воздействию агрессивных технологических химикатов, плазмы или газов высокой-чистоты, что делает его идеальным для систем травления, оборудования CVD/PVD, вакуумных камер и компонентов для работы с пластинами. По сравнению с обычными материалами титан помогает снизить риск загрязнения и продлевает срок службы компонентов.
Как обеспечить чистоту полупроводникового-класса и предотвратить загрязнение частицами?
+
-
Загрязнение частицами является одной из самых больших проблем в производстве полупроводников, поскольку даже микроскопические частицы могут повлиять на выход пластин. Наши титановые детали подвергаются точной обработке на станке с ЧПУ, тщательному удалению заусенцев, ультразвуковой очистке и индивидуальной отделке поверхности. Компоненты также могут поставляться в упаковке, совместимой с чистыми помещениями-, чтобы свести к минимуму загрязнение во время транспортировки и установки. Полные отчеты о проверках и отслеживание материалов доступны по запросу.
Можете ли вы изготовить титановые детали по нашим чертежам?
+
-
Да. Мы предоставляем комплексные услуги по индивидуальному производству в соответствии с вашими 2D-чертежами, файлами 3D CAD или образцами. Наши возможности включают фрезеровку с ЧПУ, токарную обработку, 5-осевую обработку, сверление, шлифование, сварку и прецизионную чистовую обработку. Мы можем производить сложные полупроводниковые компоненты с допусками до ±0,005 мм (или в соответствии со спецификациями заказчика), сохраняя при этом строгую размерную стабильность при серийном производстве.
Какая обработка поверхности доступна для полупроводниковых титановых деталей?
+
-
Соответствующая обработка поверхности зависит от области применения. Мы предлагаем прецизионную механическую обработку, полировку, пассивацию, пескоструйную обработку, электрополировку и другие виды отделки по индивидуальному заказу. Для вакуумной-поверхностей или поверхностей уплотнения более мелкая шероховатость поверхности помогает уменьшить выделение газов, удерживание частиц и загрязнение, одновременно улучшая характеристики уплотнения и химическую стойкость. Шероховатость поверхности может быть настроена в соответствии с вашими техническими требованиями.
Какие документы и сертификаты качества вы можете предоставить к каждому заказу?
+
-
Для поддержки обеспечения качества и квалификации поставщиков мы можем предоставить сертификаты испытаний материалов (MTC), отчеты о проверке размеров, отчеты CMM, сертификаты соответствия (COC), отчеты о проверке поверхности и полную отслеживаемость материалов. Дополнительные проверки, такие как тестирование PMI или проверка документации по качеству-отдельного клиента, также могут быть организованы по запросу для удовлетворения требований к закупкам полупроводниковой промышленности.
горячая этикетка : титановые детали для полупроводников, Китай титановые детали для полупроводников производители, поставщики, завод
